| 主权项 |
1.一种U型框光罩(U-Frame Reticle)之检测图案,其中该U型框光罩之检测图案系植布在该U型框光罩之一U型框布局上,且该U型框光罩之检测图案至少包括:一第一组图案至少包括一第一图案、复数个第二图案、以及一第三图案,且该些第二图案以该第一图案为中心,并以一第一预设距离平均分布在该第一图案的两侧,而该第三图案为一阶梯状图案,其中该阶梯状图案至少包括复数个阶梯,且该些阶梯位于同一直线上,而相邻之每一该些阶梯之间具有一第二预设距离;以及一第二组图案至少包括一第四图案、复数个第五图案、以及复数个第六图案,且该些第五图案以该第四图案为中心,并以一第三预设距离平均分布在该第四图案的两侧,其中该第一图案之宽度、该些第二图案之宽度、该第四图案之宽度、以及该些第五图案之宽度皆相同,且相邻之每一该些第六图案之间具有一第四预设距离,其中,当该第一组图案之该第一图案正好与该第二组图案之该第四图案接合而成一直线时,该第二组图案之每一该些第六图案之顶端正好与该第一组图案之该阶梯状图案之该些阶梯所在之该直线接合。2.如申请专利范围第1项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第一组图案之该第一图案、该些第二图案、以及该第三图案不透光。3.如申请专利范围第1项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第二组图案之该第四图案、该些第五图案、以及该些第六图案不透光。4.如申请专利范围第1项所述之U型框光罩之检测图案,其中该U型框光罩之该U型框布局更至少包括一右下端以及一左上端。5.如申请专利范围第4项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第一组图案系位于该U型框光罩之该U型框布局的该右下端。6.如申请专利范围第4项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第二组图案系位于该U型框光罩之该U型框布局的该左上端。7.一种U型框光罩之检测图案,其中该U型框光罩之检测图案系植布在该U型框光罩之一U型框布局上,且该U型框光罩之检测图案至少包括:一第一组图案至少包括一第一图案以及一第二图案;以及一第二组图案至少包括一第三图案以及一第四图案,其中该第一组图案之该第二图案与该第二组图案之该第四图案构成一第一方形框图案,且该第一组图案之该第一图案与该第二组图案之该第三图案构成一第二方形框图案。8.如申请专利范围第7项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第一组图案之该第一图案以及该第二图案为不透光。9.如申请专利范围第7项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第二组图案之该第三图案以及该第四图案为不透光。10.如申请专利范围第7项所述之U型框光罩之检测图案,其中该U型框光罩之该U型框布局更至少包括一右下端以及一左上端。11.如申请专利范围第10项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第一组图案系位于该U型框光罩之该U型框布局的该右下端。12.如申请专利范围第10项所述之U型框光罩之检测图案,其中该第二组图案系位于该U型框光罩之该U型框布局的该左上端。13.一种U型框光罩之检测方法,至少包括:提供一基材,其中该基材上已覆盖有依序堆叠之一第一材料层以及一光阻层;以该U型框光罩对该光阻层进行一步进式曝光步骤,且该U型框光罩至少包括一U型框布局,其中该U型框布局之一右下端至少包括一第一组图案,且该U型框布局之一左上端至少包括一第二组图案;进行一显影步骤,藉以在该光阻层上形成复数个U型框转移图案,而每一该些U型框转移图案之一右下端至少包括该第一组图案所转移之一第一组转移图案,且每一该些U型框转移图案之一左上端至少包括该第二组图案所转移之一第二组转移图案,其中该些U型框转移图案至少包括一第一U型框转移图案以及一第二U型框转移图案,且该第一U型框转移图案之该第一组转移图案与该第二U型框转移图案之该第二组转移图案形成一接合图案;以及检查该接合图案。14.如申请专利范围第13项所述之U型框光罩之检测方法,其中该光阻层之材料为正型光阻。15.如申请专利范围第14项所述之U型框光罩之检测方法,其中该第一组图案以及该第二组图案为不透光。16.如申请专利范围第13项所述之U型框光罩之检测方法,其中该第一组转移图案更至少包括:一第一图案;复数个第二图案,且该些第二图案以该第一图案为中心,并以一第一预设距离平均分布在该第一图案的两侧;以及一第三图案,而该第三图案为一阶梯状图案,其中该阶梯状图案至少包括复数个阶梯,且该些阶梯位于同一直线上,而相邻之每一该些阶梯之间具有一第二预设距离。17.如申请专利范围第16项所述之U型框光罩之检测方法,其中该第二组转移图案更至少包括:一第四图案;复数个第五图案,且该些第五图案以该第四图案为中心,并以一第三预设距离平均分布在该第四图案的两侧;以及复数个第六图案,且相邻之每一该些第六图案之间具有一第四预设距离。18.如申请专利范围第17项所述之U型框光罩之检测方法,其中该第一图案之宽度、该些第二图案之宽度、该第四图案之宽度、以及该些第五图案之宽度皆相同。19.如申请专利范围第17项所述之U型框光罩之检测方法,其中检查该接合图案之步骤更至少包括检测该第一组转移图案之该第一图案是否正好与该第二组转移图案之该第四图案接合而成一直线,以及该第二组转移图案之每一该些第六图案之顶端是否正好与该第一组转移图案之该阶梯状图案之该些阶梯所在之直线接合。20.如申请专利范围第17项所述之U型框光罩之检测方法,其中检查该接合图案之步骤更至少包括检测该第一组转移图案之该阶梯状图案之该些阶梯的数量以及形状。21.如申请专利范围第13项所述之U型框光罩之检测方法,其中该第一组转移图案更至少包括一第一图案以及一第二图案。22.如申请专利范围第21项所述之U型框光罩之检测方法,其中该第二组转移图案至少包括一第三图案以及一第四图案,而该第一组转移图案之该第二图案可与该第二组转移图案之该第四图案构成一第一方形框图案,且该第一组转移图案之该第一图案可与该第二组转移图案之该第三图案构成一第二方形框图案。23.如申请专利范围第22项所述之U型框光罩之检测方法,其中检查该接合图案之步骤更至少包括检测该第一组转移图案之该第二图案与该第二组转移图案之该第四图案是否接合成该第一方形框图案,且该第一组图案之该第一图案与该第二组图案之该第三图案接合成该第二方形框图案。图式简单说明:第1图为绘示本发明之较佳实施例之U型框光罩的U型框布局图;第2图为绘示本发明之较佳实施例之U型框光罩之U型框布局步进特征图;第3图为绘示本发明之第一较佳实施例之U型框光罩的检测图案的放大示意图;第4图为绘示在正常情况下,本发明之第一较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第5图为绘示在X轴产生偏移的一种转移情况下,本发明之第一较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第6图为绘示在X轴产生偏移的另一种转移情况下,本发明之第一较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第7图为绘示在Y轴产生偏移的一种转移情况下,本发明之第一较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第8图为绘示在Y轴产生偏移的另一种转移情况下,本发明之第一较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第9图为绘示本发明之第二较佳实施例之U型框光罩的检测图案的放大图;第10图为绘示在正常转移情况下,本发明之第二较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第11图为绘示在X轴产生偏移的一种转移情况下,本发明之第二较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第12图为绘示在X轴产生偏移的另一种转移情况下,本发明之第二较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;第13图为绘示在Y轴产生偏移的一种转移情况下,本发明之第二较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图;以及第14图为绘示在Y轴产生偏移的另一种转移情况下,本发明之第二较佳实施例之U型框光罩的检测图案的接合图案放大图。 |
