发明名称 进一步纯化过氧化氢溶液之方法
摘要 本发明系相关于一种进一步纯化过氧化氢溶液之崭新的层析方法,所制得高纯度溶液,可供今日高纯度需求下之半导体技术使用。
申请公布号 TW574136 申请公布日期 2004.02.01
申请号 TW090112131 申请日期 2001.05.21
申请人 麦克专利有限公司 发明人 戴玛 欧特;克劳斯 杜兹姆;艾华德 纽曼;克劳斯 佛莱斯勒;马丁 荷斯达里
分类号 C01B15/013 主分类号 C01B15/013
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种进一步纯化过氧化氢溶液之方法,其特征为待纯化之过氧化氢溶液,其浓度范围在5~59%,其处理如下:a).用一阴离子交换树脂处理,b).用一具有巨孔(多孔)结构的疏水性芳族交联聚合物形态之非离子性吸附剂树脂处理,及c).用一中性吸附剂树脂处理,此中性吸附剂树脂系选自具有高度巨孔结构的苯乙烯-二乙烯苯树脂组成族群,后者已藉树脂的热解处理形成,但书为用吸附剂或交换树脂处理时,可以任何期望的顺序进行,但条件为用中性吸附剂树脂处理是在最终步骤进行。2.如申请专利范围第1项之方法,其中使用之阴离子交换树脂,系选自由含有第四铵基作为官能基之弱硷性或强硷性苯乙烯-二乙烯苯树脂及含有第三胺基作为官能基之弱硷性或强硷性苯乙烯-二乙烯苯树脂所组成族群之树脂。3.如申请专利范围第1项之方法,其中使用之非离子性吸附剂树脂是具有巨孔结构之疏水性芳族交联聚合物。4.如申请专利范围第3项之方法,其中使用之非离子性吸附剂树脂是选自由具有巨孔结构及大表面积之苯乙烯-二乙烯苯树脂所组成之族群。5.如申请专利范围第1项之方法,其中待处理之过氧化氢溶液,系在流动密度为0.2~1.0 l/h cm2下,通过串连之管柱。6.如申请专利范围第5项之方法,其中待处理之过氧化氢溶液系在流动密度为0.5~0.7 l/h cm2下通过串连之管柱。7.如申请专利范围第1项之方法,其中待纯化之过氧化氢溶液,系以滞留时间为0.008~20.0分钟,通过串连之流体化床。8.如申请专利范围第1至7项中任一项之方法,其系在15~25℃之温度下进行。9.如申请专利范围第8项之方法,其系在20℃之温度下进行。10.如申请专利范围第1至7项中任一项之方法,其系以连续方式进行。11.如申请专利范围第1至7项中任一项之方法,其系以批次操作方式进行。12.如申请专利范围第1至3项及第7项中任一项之方法,其系在温度0~20℃进行。13.如申请专利范围第12项之方法,其系在0~10℃之温度下进行。
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