| 主权项 |
1.一种正型光阻组成物,其基本上系由下列所组成,(i)占光阻组成物总重之5至40%的光酸产生剂,以及(ii)占光阻组成物总重之95至60%的黏合剂树脂,其由下列所组成:(a)占黏合剂树脂总重之100至75%的下列结构之酸官能基纤维素树脂其中R、R1.R2.R3.R4.及R5为氢、烷基、羟烷基、醯基、或—C(=O)R′(COOR〞)m,其中R′为伸烷基、伸苯基、或伸环己基,且m为1或2;当m为1时,R〞为氢,且当m为2时,至少一个R〞为氢而其他为含1至4个碳原子之烷基;其条件是R、R1.R2.R3.R4.及R5中至少一个为—C(=O)R′(COOR〞)m,且其他R、R1.R2.R3.R4.及R5中至少一个为烷基、羟烷基、醯基、或—C(=O)R′(COOR〞)m;及(b)占黏合剂树脂总重之0至25%的酸性丙烯酸酯树脂,且其酸値为80至240mgKOH/克,分子量为20,000至130,000道尔顿,Tg为—10至110℃。2.如申请专利范围第1项之组成物,其中黏着剂树脂(b)的量为0%。3.如申请专利范围第1项之组成物,其中光酸产生剂为对—枯基酚的重氮磺醯酯。4.如申请专利范围第1项之组成物,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯。5.如申请专利范围第1项之组成物,其中m为1。6.如申请专利范围第1项之组成物,其中由R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、烷基、羟基烷基、醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m。7.如申请专利范围第1项之组成物,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯;黏着剂树脂(b)的量为0%;R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、甲基、羟丙基、乙醯基、及一C(=O)R′(COOR〞)m,其中m为1且R′为含2或3个碳原子之伸烷基。8.如申请专利范围第1项之组成物,其中光酸产生剂为对—枯基酚的重氮磺醯酯;黏着剂树脂(b)的量为0%;R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、甲基、羟丙基、乙醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m,其中m为1且R′为含2或3个碳原子之伸烷基。9.如申请专利范围第1项组成物,用于预敏化(pre-sensitizing)铜覆盖的电介体。10.如申请专利范围第9项之组成物,其中黏着剂树脂(b)的量为0%。11.如申请专利范围第9项之组成物,其中正型光阻组成物为单层。12.如申请专利范围第9项之组成物,其中光酸产生剂为对—枯基酚的重氮磺醯酯。13.如申请专利范围第9项之组成物,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯。14.如申请专利范围第9项之组成物,其中由R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、烷基、羟基烷基、醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m。15.如申请专利范围第9项之组成物,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯;黏着剂树脂(b)的量为0%;R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、甲基、羟丙基、乙醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m,其中m为1且R′为含2或3个碳原子之伸烷基。16.如申请专利范围第1项之组成物,其系用于照射敏性记录材料中。17.如申请专利范围第16项之组成物,其中黏着剂树脂(b)的量为0%。18.如申请专利范围第16项之组成物,其中光酸产生剂为对—枯基酚的重氮磺醯酯。19.如申请专利范围第16项之组成物,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯。20.如申请专利范围第16项之组成物,其中由R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、烷基、羟基烷基、醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m。21.如申请专利范围第16项之组成物,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯;黏着剂树脂(b)的量为0%;R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、甲基、羟丙基、乙醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m,其中m为1且R′为含2或3个碳原子之伸烷基。22.一种正型光阻之单层乾膜,其基本上系由下列所组成,(i)占光阻组成物总重之5至40%的光酸产生剂,以及(ii)占光阻组成物总重之95至60%的黏合剂树脂,其由下列所组成:(a)占黏合剂树脂总重之100至75%的下列结构之酸官能基纤维素树脂其中R、R1.R2.R3.R4.及R5为氢、烷基、羟烷基、醯基、或—C(=O)R′(COOR〞)m,其中R′为伸烷基、伸苯基、或伸环己基,且m为1或2;当m为1时,R〞为氢,且当m为2时,至少一个R〞为氢而其他为含1至4个碳原子之烷基;其条件是R、R1.R2.R3.R4.及R5中至少一个为—C(=O)R′(COOR〞)m,且其他R、R1.R2.R3.R4.及R5中至少一个为烷基、羟烷基、醯基、或—C(=O)R′(COOR〞)m;及(b)占黏合剂树脂总重之0至25%的酸性丙烯酸酯树脂,且其酸値为80至240mgKOH/克,分子量为20,000至130,000道尔顿,Tg为—10至110℃。23.如申请专利范围第22项之乾膜,其中黏着剂树脂(b)的量为0%。24.如申请专利范围第22项之乾膜,其中光酸产生剂为对—枯基酚的重氮磺醯酯。25.如申请专利范围第22项之乾膜,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯。26.如申请专利范围第22项之乾膜,其中光酸产生剂为三芳基六氟锑酸盐。27.如申请专利范围第22项之乾膜,其中由R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、烷基、羟基烷基、醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m。28.如申请专利范围第22项之乾膜,其中光酸产生剂为6—硝基—2—羟甲基对甲酚的重氮磺醯酯;黏着剂树脂(b)的量为0%;R、R1.R2.R3.R4.及R5代表之取代基同时为氢、甲基、羟丙基、乙醯基、及—C(=O)R′(COOR〞)m,其中m为1且R′为含2或3个碳原子之伸烷基。 |
