发明名称 控制使用基线控制语言工具之方法和装置
摘要 本发明提供一种控制制造系统之方法,系包括:在复数组工具中加工处理工件,起始化该复数工具之选择工具之基准线控制稿本;提供内容资讯给该基准线控制稿本;根据该内容资讯决定工具类型;根据该工具类型选择该选择工具之控制例行程序;及执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作。此系统包含适宜用于加工处理工件之复数组工具、控制执行管理器及控制执行器。该控制执行管理器适合用于起始化该复数组工具之选择工具之基准线控制稿本并且提供内容资讯给该基准线控制稿本。该控制执行器适合用于执行该基准线控制稿本、根据该内容资讯决定工具类型、根据该工具类型之该选择工具选择控制例行程序及执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作。
申请公布号 TW574640 申请公布日期 2004.02.01
申请号 TW090131301 申请日期 2001.12.18
申请人 高级微装置公司 发明人 克里斯多夫 A 巴帝;亚历山大 J 帕斯汀;安东尼 J 塔派克;乔伊斯 S 欧伊 休特;阿南斯塔西亚 欧希奇 彼得森;汤玛士 J 桑德曼;麦可 L 米勒
分类号 G05B19/418 主分类号 G05B19/418
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路八十号六楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路八十号六楼
主权项 1.一种控制制造系统的方法,包括:在复数组工具中加工处理工件;将从该复数组工具选择之工具用之基准线控制稿本起始化;提供该基准线控制稿本之内容资讯;根据该内容资讯决定工具类型;根据该工具类型选择该所选工具用之控制例行程序;及执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该选择工具具有一操作方案,并且该方法更进一步包括改变基于该控制动作之该选择工具之该操作方案。3.如申请专利范围第1项之方法,其中选择该控制例行程序更进一步包括连结至控制例行程序之资料库之步骤。4.如申请专利范围第1项之方法,其中执行该控制例行程序更进一步包括存取与该选择工具相关之有关先前控制动作之控制状态资讯之步骤。5.如申请专利范围第1项之方法,其中该内容资讯包括与该选择工具相关之一实体识别码且决定该工具形式更进一步包括基于该实体识别码决定该工具类型之步骤。6.如申请专利范围第1项之方法,其中该内容资讯包括一操作识别码,且选择之该控制例行程序更进一步包括根据该工具类型及该操作识别码选择该控制例行程序。7.如申请专利范围第1项之方法,其中该内容资讯包括一产品识别码,且选择之该控制例行程序更进一步包括根据该工具类型及该产品识别码选择该控制例行程序。8.如申请专利范围第1项之方法,其中该内容资讯包括一实体识别码、一操作识别码及一产品识别码,决定该工具类型更进一步包括根据该实体识别码决定该工具类型,且选择该控制例行程序更进一步包括根据该工具类型、该操作识别码及该产品识别码选择该控制例行程序。9.一种控制制造系统的方法,包括:在复数组工具中加工处理工件;将从该复数组工具所选择之工具用之基准线控制稿本起始化;提供该基准线稿本之内容资讯,该内容资讯包含一实体识别码;根据该实体识别码选择工具类型;连结至控制例行程序之一资料库;根据该工具类型从该控制例行程序之资料库选择该选择工具用之控制例行程序;及执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作。10.如申请专利范围第9项之方法,其中选择工具具有一操作方案,并且该方法更进一步包括改变根据该控制动作之该选择工具之该操作方案。11.如申请专利范围第9项之方法,其中执行该控制例行程序更进一步包括存取与该选择工具相关之有关先前控制动作之控制状态资讯。12.如申请专利范围第9项之方法,其中该内容资讯包括一操作识别码,且选择之该控制例行程序更进一步包括根据该工具类型及该操作识别码选择该控制例行程序之步骤。13.如申请专利范围第9项之方法,其中该内容资讯包括一产品识别码,且选择之该控制例行程序更进一步包括根据该工具类型及该产品识别码选择该控制例行程序之步骤。14.如申请专利范围第9项之方法,其中该内容资讯包括一实体识别码、一操作识别码及一产品识别码,决定该工具类型更进一步包括根据该实体识别码决定该工具类型,且选择该控制例行程序更进一步包括根据该工具类型、该操作识别码及该产品识别码选择该控制例行程序之步骤。15.一种制造系统,包括:适合用于加工处理工件之复数组工具;适用于起始化该复数组工具之选择工具之基准线控制稿本而提供内容资讯给该基准线稿本之控制执行管理器;和控制执行器适宜用于执行该基准线稿本、根据该内容资讯决定工具类型、挑选一控制例行程序给根据该工具类型之该选择工具,而执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作。16.如申请专利范围第15项之系统,其中该选择工具具有与之相关之一操作方案,并且该控制执行器适合用于改变基于该控制动作之该选择工具之该操作方案。17.如申请专利范围第15项之系统,其中该控制执行器适合用于连结一资料库之控制例行程序以选择该控制例行程序。18.如申请专利范围第15项之系统,其中该控制执行器适合用于存取关于与该选择工具相关之先前控制动作之控制状态资讯。19.如申请专利范围第15项之系统,其中该内容资讯包括与该选择工具相关之一实体识别码并且该控制执行器适合用于根据该实体识别码决定该工具类型。20.如申请专利范围第15项之系统,其中该内容资讯包括一操作识别码,并且该控制执行器适合用于根据该工具类型及该操作识别码选择该控制例行程序。21.如申请专利范围第15项之系统,其中该内容资讯包括一产品识别码,并且该控制执行器适合用于根据该工具类型及该产品识别码选择该控制例行程序。22.如申请专利范围第15项之系统,其中该内容资讯包括一实体识别码、一操作识别码和一产品识别码,并且该控制执行器适合用于根据该实体识别码决定该工具类型并且根据该工具类型、该操作识别码及该产品识别码选择该控制执行器。23.如申请专利范围第15项之系统,更进一步包括:适宜用于与该选择工具连通通信之一设备介面;及适宜用于与该设备介面连通通信之一机械介面,其中该控制执行器适合用于与互动功能之资料库连结以接合该设备介面和该机械介面。24.如申请专利范围第15项之系统,其中该控制执行器适宜用于与数学功能之资料库连结以执行在控制例行程序中之功能。25.一制造系统,包含:适宜用于加工处理工件之复数组工具;控制执行管理器,适宜用于起始化该复数组工具之一选择工具之一基准线控制稿本及提供内容资讯给该基准线稿本,该内容资讯包含一实体识别码,以及控制执行部,适宜用于执行该基准线稿本、根据该内容资讯决定工具类型、连结于控制例行程序之资料库、根据所选择之工具类型从该例行程序资料库选择该选择工具用之控制例行程序而执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作。26.如申请专利范围第25项之系统,其中该选择工具具有一操作方案,并且该控制执行器适合用于改变根据该控制动作之该选择工具之该操作方案。27.如申请专利范围第25项之系统,其中该控制执行器适合用于存取关于与该选择工具相关之先前控制动作之控制状态资讯。28.如申请专利范围第25项之系统,其中该内容资讯包括一操作识别码,并且该控制执行器适合用于根据该工具类型及该操作识别码选择该控制例行程序。29.如申请专利范围第25项之系统,其中该内容资讯包括一产品识别码,并且该控制执行器适合用于根据该工具类型及该产品识别码选择该控制例行程序。30.如申请专利范围第25项之系统,其中该内容资讯包括一实体识别码、一操作识别码和一产品识别码,并且该控制执行器适合用于根据该实体识别码决定该工具类型,并且根据该工具类型、该操作识别码及该产品识别码选择该控制执行器。31.如申请专利范围第25项之系统,更进一步包括:适宜用于与该选择工具连通通信之一设备介面;及适宜用于与该设备介面连通通信之一机械介面,其中该控制执行器适合用于连结互动功能资料库以接合该设备介面和该机械介面。32.如申请专利范围第25项之系统,其中该控制执行器适宜用于连结数学功能资料库以执行在控制例行程序中之功能。33.一制造系统,包括:适宜用于加工处理工件之复数组工具;起始化该复数组工具之选择工具之基准线控制稿本之手段;提供内容资讯给该基准线控制稿本之手段;根据该内容资讯之工具类型之手段;选择一控制例行程序给根据该工具类型所选择之该选择工具用之手段;及执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作之手段。34.一制造系统,包括:适宜用于加工处理工件之复数组工具;起始化该复数组工具之选择工具之一基准线控制稿本之手段;提供内容资讯给该基准线控制稿本之手段,该内容资讯包含一实体识别码;根据该实体识别码决定工具类型之手段;连结控制例行程序资料库之手段;从控制例行程序资料库选择控制例行程序给根据该工具类型所选之选择工具使用之手段,及执行该控制例行程序以产生该选择工具之控制动作之手段。图式简单说明:第1图为本发明之示范实施例之进阶制程控制(APC)系统之简化方块图示;第2图为第1图之系统中基准线控制稿本和多种共用基准线查询系统之间之图示说明连线;第3图为说明该基准线制程稿本之组织之简化方块图示;第4图为说明基准线度量稿本之组织之简化方块图示;第5图为说明多个控制器基准线制程稿本之组织之简化方块图示;而第6图为一积体化与本发明之另一个说明实施例一致之多个控制器之一方法之简单流程图。
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