测试光罩、光晕圈评估方法、以及光晕圈补偿方法

摘要

透过使用一种线图案，其于测量时变成图案、以及一种带图案呈带状，其变成光晕圈引致图案，形成光透射区环绕线图案，且造成线图案出现局部光晕圈，因带图案对线图案所致局部光晕圈影响被测量作为线图案线宽供评比之用。此外，此种测量值用来补偿局部光晕圈对实际图案的影响。