薄膜积层体、薄膜电池、电容器、以及薄膜积层体之制造方法及制造装置

摘要

一种薄膜积层体，系将至少由第1薄膜层与第2薄膜层所构成之积层单位反覆进行至少2次以上积层而构成者；该第1薄膜层及第2薄膜层中之至少一方的积层面积系由下层往上层而递减。藉此，可提高层间之连接可靠性，并提高于侧面形成保护层时的形成性与附着强度。