显示装置之制造方法

摘要

在采用电子束蒸发法在其上形成薄膜电晶体的基底上形成薄膜的过程中，本发明提供了一种形成所需的薄膜而不引起薄膜电晶体特性异常的技术。该技术的特征在于，用电子束蒸发法在电连接薄膜电晶体的电极上形成薄膜的过程中，对电子的加速电压进行控制，使得当用于形成薄膜的蒸发材料受到电子束照射时，辐射线基本上不从蒸发材料中辐射出来。辐射线基本上不辐射出来表示为：对电子的加速电压进行控制，使得薄膜电晶体不会因从蒸发材料中辐射出的辐射线而受到损坏。