摘要 |
提供一种防振装置,具备有藉由第1气体室69的内部气体的压力而使支持物件物OB的自重通过保持构件62被支持,基于第1气体室和第2气体室79的至少一方的状态变化,驱动使第2气体室的内容积变化并使第1气体室的内容积变化的可动装置149,调整保持构件的重力方向的位置之调整装置74。所以,当由于振动等而使保持构件在重力方向位移时,藉由利用调整装置使可动装置被驱动,可使保持构件被维持于原来的位置。而且,藉由使可动装置和支持物件物非接触,这就不会直接使支持物件物变形,只是由两气体室的内容积的变化而驱动支持物件物,所以即使第1气体室内的气体的刚性高也没有问题。使除振或制振效果提高,且谋求装置的小型化。 |