| 主权项 |
1.一种用于界定物处之场照射之光学系统,包含: 一第一绕射阵列; 一第二绕射阵列;及 一聚光器系统,置于该第一绕射阵列及该第二绕射 阵列之间的光路径中,其中,该聚光器系统另包含: 多个固定光学元件;及 多个可移动光学元件, 其中,该等可移动光学元件能够相对于该多个固定 光学元件平移。2.如申请专利范围第1项所述之光 学系统,其中,第一绕射阵列为一能够产生一矩形 数値孔径之场空间阵列。3.如申请专利范围第1项 所述之光学系统,其中,第一绕射阵列为一能够产 生一曲线形数値孔径之场空间阵列。4.如申请专 利范围第1项所述之光学系统,其中,该多个固定光 学元件包含: 一输入透镜群;及 一输出透镜群。5.如申请专利范围第4项所述之光 学系统,其中,该输入透镜群另包含一输入正交柱 面透镜。6.如申请专利范围第4项所述之光学系统, 其中,该输出透镜群另包含至少一正交柱面透镜及 至少一柱面透镜。7.如申请专利范围第1项所述之 光学系统,其中,该多个可移动光学元件另包含多 个可变焦距透镜。8.如申请专利范围第7项所述之 光学系统,其中,该多个可变焦距透镜另包含至少 一具有正交扫描光学放大率之柱面透镜。9.如申 请专利范围第8项所述之光学系统,其中,该至少一 柱面透镜具有在1:-0.3至1:-0.8范围中之正交扫描光 学放大率。10.如申请专利范围第1项所述之光学系 统,其中,该第二绕射阵列为一瞳孔绕射阵列。11. 如申请专利范围第1项所述之光学系统,其中,聚光 器系统另包含二固定光学元件及二可移动光学元 件。12.如申请专利范围第1项所述之照射系统,其 中,聚光器系统另包含二固定光学元件及三可移动 光学元件。13.一种用于照射系统中之聚光器系统, 该照射系统照射界定物之场,该照射系统包含: 一输入固定光学群; 一输出固定光学群;及 一可变焦距透镜群,与输入固定光学群及输出固定 光学群一起置于光路径中; 其中,该可变焦距透镜群能够相对于该输入固定光 学群及输出固定光学群平移; 其中,该输入固定光学群、输出固定光学群、及可 变焦距透镜群沿光路径上之位置能够被调整,以改 变照射系统中之界定物之照射场的大小。14.如申 请专利范围第13项所述之聚光器系统,其中,该输入 固定光学群另包含输入正交柱面透镜。15.如申请 专利范围第13项所述之聚光器系统,其中,该输出固 定光学群另包含至少一正交柱面透镜及至少一柱 面透镜。16.如申请专利范围第13项所述之聚光器 系统,其中,该可变焦距透镜群另包含至少一具有 正交扫描光学放大率之柱面透镜。17.如申请专利 范围第16项所述之聚光器系统,其中,该至少一柱面 透镜具有在1:-0.3至1:-0.8范围中之正交扫描光学放 大率。18.一种用以照射具有光路径之微影照射系 统中之界定物的场之方法,包括步骤: (a)以一输入固定光学群来接收光; (b)用输入固定光学群,以置于光路径中之可变焦距 透镜群来对该光放大或缩小至少其中一者, 其中,步骤(b)另包含沿光路径上平移可变焦距透镜 群; (c)以从输出固定光学群所引导之光来照射该界定 物; 其中,步骤(a)至(c)另包含: 改变照射系统中之界定物之照射场的大小。图式 简单说明: 图1显示光学系统之一实施例。 图2a显示本发明之照射系统之一实施例。 图2b显示本发明之照射系统之另一实施例。 图3a显示在第一透镜位置中之本发明之图2a及2b之 照射系统之4透镜聚光器系统之实施例。 图3b显示在第二透镜位置中之本发明之图3a所示之 4透镜聚光器系统。 图3c显示在第三透镜位置中之本发明之图3a所示之 4透镜聚光器系统。 图3d显示多个光学元件以及本发明之图3a-3c所示之 4透镜聚光器系统之对应光学表面。 图4a显示在第一透镜位置中之本发明之图2a及2b之 照射系统之5透镜聚光器系统之实施例。 图4b显示在第二透镜位置中之本发明之图4a所示之 5透镜聚光器系统。 图4c显示在第三透镜位置中之本发明之图4a所示之 5透镜聚光器系统。 图4d显示多个光学元件以及本发明之图4a-4c所示之 5透镜聚光器系统之对应光学表面。 图5a为本发明之绕射阵列内之绕射光栅之侧视图 图5b为本发明之绕射阵列内之绕射光栅之顶视图 图6a为本发明之绕射阵列内之微透镜组件之顶视 图。 图6b为本发明之绕射阵列内之微透镜组件之侧视 图。 |
