Überwachen und Korrigieren von Bragg-Gittern während deren Herstellung

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Überwachen und Korrigieren von Bragg-Gittern während deren Herstellung. Während ein Bragg-Gitter (16) in ein Substrat (14) geschrieben wird, werden Messungen vorgenommen, die es ermöglichen, Änderungen beim Schreibprozeß vorzunehmen, um Fehler zu vermindern, die beim Schreiben des Gitters (16) auftreten können. Hierzu können bevorzugt Mehrfach-Abtastungen des Schreibstrahls (U) angewandt werden. Nach einer Abtastung können Messungen der Charakteristiken des geschriebenen Gitters (16) vorgenommen werden und es können Korrekturen an nachfolgenden Abtastungen durchgeführt werden.