Verfahren zur Vermeidung der Selbstentzündung von brennbaren Stäuben in Prozessabgasen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie Siliciumscheibe erhältlich aus diesem Verfahren

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vermeidung der Selbstentzündung von brennbaren Stäuben in Prozessabgasen, dadurch gekennzeichnet, dass die Stäube während des Prozesses, ohne die Prozessparameter zu beeinträchtigen, an mindestens einem in einem Druckbehälter angebrachten, bis mindestens 250 DEG C temperaturbeständigen und gesinterten Filterelement zurückgehalten werden und nach der Beendigung des Prozesses durch Rückstoß mit sauerstoffhaltigem Gas im Druckbehälter inertisiert werden, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.