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Es wird ein Stromesschaltkreis und ein Verfahren zur Prüfung von Halbleiterbauelementen bereitgestellt. Das Verfahren weist die folgenden Schritte auf: Bereitstellen eines integrierten Schaltkreises aus Halbleiterbauelementen, bestehend aus einem Spannungsregelungsschaltkreis, wobei der Spannungsregelungsschaltkreis aktiviert wird, um ein benötigtes Spannungsniveau zu gewährleisten, Überwachen des Spannungsregelungsschaltkreises, um die Anzahl seiner Aktivierungen während eines Prüf- bzw. Abtastzeitraumes zu bestimmen und Vergleichen der Anzahl der Aktivierungen mit einem vorbestimmten Grenzwert, wobei, falls die Anzahl der Aktivierungen den vorbestimmten Grenzwert überschreitet, das Halbleiterbauelement fehlerhaft ist. Der Stromesschaltkreis weist einen externen Taktgeber zur Bereitstellung eines Taktsignals auf, einen ersten Zähler zum Zählen, wenn der Spannungsregelungsschaltkreis aktiviert ist, einen zweiten Zähler zum Zählen der Taktzyklen eines Prüf- bzw. Abtastzeitraumes und ein Register zum Speichern der Anzahl der Aktivierungen, wobei die Anzahl der Aktivierungen einen relativen Stromverbrauchswert des Halbleiterbauelements repräsentiert.
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