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发明名称 Vorrichtung zur Gasanregung durch Oberflächenwellen-Plasma und diese Vorrichtung enthaltende Gasanregungsanlage
摘要
申请公布号 DE69820518(D1) 申请公布日期 2004.01.29
申请号 DE19986020518 申请日期 1998.04.21
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 MOISAN, MICHEL;ETEMADI, ROXANE;ROSTAING, JEAN-CHRISTOPHE
分类号 B01J19/12;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
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