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发明名称 Verfahren zur Strukturerzeugung in einem Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE4413152(B4) 申请公布日期 2004.01.29
申请号 DE19944413152 申请日期 1994.04.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, KANG-HYUN;HONG, JONG-SEO;KIM, HYOUNG-SUB;KIM, JAE-HO;HAN, MIN-SEOG;HONG, JUNG-IN
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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