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发明名称 Elektrodenanordnung
摘要
申请公布号 DE50004783(D1) 申请公布日期 2004.01.29
申请号 DE20005004783 申请日期 2000.11.09
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 GEBELE, THOMAS;BANGERT, STEFAN;BUDKE, DR.;GRIMM, DR.;HENRICH, JUERGEN;HONEKAMP, JUERGEN;ULRICH, JUERGEN
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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