发明名称 SUBSTRAT MIT EINEM DURCHSICHTIGEN, LEITFÄHIGEN FILM BESCHICHTET, ZERSTÄUBINGSTARGET ZUR ABSCHEIDUNG DIESES FILMS
摘要
申请公布号 DE69820639(D1) 申请公布日期 2004.01.29
申请号 DE19986020639 申请日期 1998.02.20
申请人 ASAHI GLASS CO., LTD. 发明人 MITSUI, AKIRA
分类号 C01G19/00;C23C14/08;C23C14/34;H01B5/14;(IPC1-7):C23C14/08 主分类号 C01G19/00
代理机构 代理人
主权项
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