| 摘要 |
<p>Es wird ein elektrostatisches Mikroventil (1) vorgeschlagen, das eine Trennwand (3) aufweist, die eine erste und eine zweite Ventilkammer (4, 5) voneinander abtrennt und die von einem Durchgangskanal (6) durchsetzt ist, der mit einer ersten (7) bzw. zweiten (8) Kanalöffnung zur ersten und zweiten Ventilkammer (4, 5) ausmündet. In der ersten Ventilkammer (4) befindet sich ein Ventilglied (16) zum Steuern der ersten Kanalöffnung (7). In der zweiten Ventilkammer (5) befindet sich ein Steuerglied (22), mit dem sich die zweite Kanalöffnung (8) zumindest teilweise verschließen lässt, um die auf das Ventilglied (16) wirkende Strömungskraft zu verringern, sodass das Ventilglied (16) mit geringer elektrostatischer Kraft in eine die erste Kanalöffnung (7) verschließende Schließstellung umschaltbar ist.</p> |
