发明名称 | 压电功能部件及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明的压电功能部件包含基板、基板上的缓冲层、缓冲层上的下部电极层、下部电极上的压电层、压电层上的上部电极层。在压电层上,在其外周面的下部侧形成向外周方向扩展的展开部。在该压电功能部件中,上、下部电极层以及压电层的三种叠层体对基板的粘合强度高。 | ||
申请公布号 | CN1471736A | 申请公布日期 | 2004.01.28 |
申请号 | CN02802763.9 | 申请日期 | 2002.08.07 |
申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 中谷将也 |
分类号 | H01L41/09;H01L41/24;G01P9/04;G01C19/56 | 主分类号 | H01L41/09 |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
主权项 | 1.一种压电功能部件,其特征在于,包含:基板;在所述基板上方设置的下部电极层;在所述下部电极层上设置的、具有向所述下部电极层侧的外方扩展的展开部的压电层;以及在所述压电层上设置的上部电极层。 | ||
地址 | 日本大阪府 |