压电功能部件及其制造方法

摘要

本发明的压电功能部件包含基板、基板上的缓冲层、缓冲层上的下部电极层、下部电极上的压电层、压电层上的上部电极层。在压电层上，在其外周面的下部侧形成向外周方向扩展的展开部。在该压电功能部件中，上、下部电极层以及压电层的三种叠层体对基板的粘合强度高。

主权项

1.一种压电功能部件，其特征在于，包含：基板；在所述基板上方设置的下部电极层；在所述下部电极层上设置的、具有向所述下部电极层侧的外方扩展的展开部的压电层；以及在所述压电层上设置的上部电极层。