光学投影系统中的薄膜驱动式反射镜阵列及其制造方法

摘要

一种光学投影系统中的薄膜AMA及其制作方法。薄膜AMA具有一包含电路和连接点的有源阵列、第一驱动装置、第二驱动装置、支撑元件和反射元件。第一、二驱动装置平行地形成，支撑元件沿垂直于第一、二驱动装置的方向形成。由多个支柱支撑的反射元件以两倍的位移倾斜，因此，投射到屏幕上的图像的质量大大地增强了。此外，第一、二驱动装置底部为以第一、二支撑物为中心的对称结构，使第一、二驱动装置具有稳定的结构。

主权项

1、一种光学投影系统中由第一信号和第二信号驱动的薄膜驱动式反射镜阵列，包括：一有源阵列，其具有一用来接收来自外部的第一信号并传输该第一信号的电路和连接点；一第一驱动装置，包括：一第一支持层，具有一中央部分和一周边部分，其中中央部分与含有连接点的所述有源阵列的第一部分相连，而周边部分平行地形成在所述有源阵列的上方；一第一底部电极，用来接收第一信号并在所述第一支持层上形成；一对应于所述第一底部电极的所述第一顶部电极，用来接收第二信号并在所述第一顶部电极和所述第一底部电极之间产生一第一电场；以及一第一有源层，它是在所述第一顶部电极和所述第一底部电极之间形成的并由于第一电场的作用而产生变形；一第二驱动装置，包括：一第二支持层，具有一中央部分和一周边部分，其中央部分与含有连接点的所述有源阵列的第二部分相连，而周边部分平行地形成在所述有源阵列的上方；一第二底部电极，用来并接收第一信号并且所述第二底部电极是在第一支持层上形成的；一对应于所述第二底部电极的第二顶部电极，用来接收第二信号并在所述第二顶部电极和所述第二底部电极之间产生一第二电场；以及一第二有源层，它是在所述二顶部电极和所述第二底部电极之间形成的并由于第二电场的作用而产生变形；一在所述有源阵列的第三部分上形成的支撑装置，所述的支撑装置包括一在所述有源阵列的第三部分上形成的第三支持层，一在所述第三支持层上形成的第三底部电极，一在所述第三底部电极上形成的第三有源层，一在所述第三有源层上形成的第三顶部电极；以及一用来反射光的反射装置，所述反射装置是在所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述支撑装置上形成的。