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发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR PLANARIZING SURFACES
摘要
申请公布号 EP1234009(B1) 申请公布日期 2004.01.28
申请号 EP20000979196 申请日期 2000.11.15
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 MUELLER, BRIAN, L.;DIRKSEN, JAMES, A.
分类号 B24B57/02;B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/321 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
主权项
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