排液头，其制造方法，以及微电子机械设备

摘要

本发明提供了一种排液头，其包括一基体，一连接到基体上的顶板，一成形在基体和顶板之间的液体流通通道，和一具有一固定在基体上的固定端和一延伸到液体流通通道中的自由端的悬臂状可移动元件，其中通过从基体的一侧面上依次堆叠一底部防护层，一发热电阻层，一下部电极层，一隔离层，一上部电极层，和一上部防护层而形成所述可移动元件，并且通过向发热电阻层的发热区供给电压使得可移动元件和基体之间的液体流通通道中的液体发泡而排出液体。

主权项

1.一种排液头包括一基体，一连接到基体上的顶板，一在基体和顶板之间形成的液体流通通道，和一具有一固定到基体上的固定端和一延伸到液体流通通道中的自由端的悬臂状可移动元件，其特征在于：该可移动元件是通过从基体组件的一侧面上，依次堆叠一底部防护层，一发热电阻层，一下部电极层，一隔离层，一上部电极层，一上部防护层而形成，并且通过向发热电阻层的发热区供给电压使得可移动元件和基体之间液体流通通道中的液体发泡而排出液体。