化学蒸汽渗透和沉积工艺用的设备

摘要

本发明是关于用在化学蒸汽渗透和沉积(CVI/CVD)中的设备。本发明特别是关于在CVI/CVD炉内加热反应气体的一种预热器，和用压力梯度CVD/CVD工艺在许多多孔骨架中沉积粘结材料的一种夹具。

主权项

1.一个用于从气体入口获得反应气体的在CVI/CVD炉中的气体预热器，包括一个安装在炉内的密封导流构架，该密封导流构架有一个导流构架入口和一个导流构架出口；和一个安装在炉内的密封槽骨架，该密封槽骨架是围着气体入口和上述导流构架入口封固的，以使几乎全部来自气体入口的反应气体流向并强制流过上述密封导流构架到达上述导流构架出口。