样品倾斜的测量方法

摘要

本发明涉及一种样品倾斜的测量方法，这种方法在于，使具有平面形状前端面的柱状件处于由夹具夹持的状态，相对干涉仪转动一个预定角度，测定两个转动位置中每个位置的所述干涉仪的基准面和前端面之间的相对角度，根据如此测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的轴线倾斜度。

主权项

1.一种样品倾斜的测量方法，用于测量具有平面形状前端面的柱状件的轴线的倾斜度，所述柱状件由夹具加以夹持，作为样品的所述前端面用角度测量仪进行观察；所述方法包括以下步骤：使所述柱状件相对于所述角度测量仪转动一个预定角度，同时处于由所述夹具夹持的状态，测定两个转动位置中每个位置的角度；以及根据所述测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的所述轴线的所述倾斜度。