用空气等离子对导电性材料进行处理的方法及装置

摘要

本发明涉及用于处理由导电性材料制成的受处理物体的空气等离子方法，该方法包含由等离子发生器在受处理物体的受处理表面上产生等离子流，并且受处理物体与等离子发生器产生相对位移。至少一个等离子流为阴极流并且至少一个等离子流为阳极流，将阳极流施加于接近于阴极流的受处理表面的处理区域上。

主权项

1.一种用空气等离子处理对由导电性材料制成的受处理物体进行处理的方法，该方法包含：通过等离子发生器产生等离子流，将该等离子流施加于受处理物体的受处理表面上，且受处理物体相对于等离子发生器产生位移，该方法的特征在于，至少一个等离子流为阴极流并且至少一个等离子流为阳极流，将所述阳极流施加于邻近阴极流的所述受处理表面的处理区域。