带有可变形支架的电容式力敏传感器

摘要

本发明涉及的带有可变形支架的电容式力敏传感器，包括成对的不变形支架、成对的电容极板和可变形支架，该成对的不变形支架的一端分别固定在可变形支架中部，另一端端面上分别固定一电容极板，电容极板相对放置，为平板或曲率半径相同的一大一小且一凸一凹的曲面板/球面板，由绝缘材料制做，相对的表面上设有导电薄铝层；所述可变形支架为杆状、管状或片状；所述不变形支架为杆状、管状或片状；可变形支架的一端或两端端面上设有传力板；还可包括一环形电极，该环形电极同心地套装在传力板外侧或径向不变形支架的外侧，本发明结构简单，可在保持高灵敏的同时，修正可变形支架的附加弯曲造成的测量误差，从而提高其重复精度。

主权项

PCT国内申请，权利要求书已公开。