发明名称 APPLICATION OF DENSE PLASMAS GENERATED AT ATMOSPHERIC PRESSURE FOR TREATING GAS EFFLUENTS
摘要
申请公布号 KR20040007619(A) 申请公布日期 2004.01.24
申请号 KR20037015560 申请日期 2002.05.21
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H05H1/30;B01D53/32;B01D53/68;B01D53/70;B01J19/08;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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