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发明名称 DUO-STEP PLASMA CLEANING OF CHAMBER RESIDUES
摘要
申请公布号 KR20040007533(A) 申请公布日期 2004.01.24
申请号 KR20037014377 申请日期 2003.11.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;B08B3/06;B08B7/00;C23C16/44;H01J37/32 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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