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发明名称 COMPOSITIONS FOR REMOVING ETCHING RESIDUE AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 AU2003251802(A1) 申请公布日期 2004.01.23
申请号 AU20030251802 申请日期 2003.07.10
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 ROBERTO, JOHN ROVITO;DAVID, BARRY RENNIE;DANA, L. DURHAM
分类号 C11D7/04;C09K13/00;C11D7/26;C11D7/50;C23G5/024;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):C03C23/00;B08B3/00;C11D17/00;C11D17/08;C23G1/00;C23G1/02 主分类号 C11D7/04
代理机构 代理人
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