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发明名称 MONITORING APPARATUS AND METHOD FOR IMPROVING THE ACCURACY AND REPEATABILITY OF ELECTROCHEMICAL CAPACITANCE VOLTAGE (ECV) MEASUREMENTS
摘要
申请公布号 AU2003251155(A1) 申请公布日期 2004.01.23
申请号 AU20030251155 申请日期 2003.07.04
申请人 AOTI OPERATING COMPANY, INC. 发明人 HARVEY PODGORNEY;CLIVE MEATON;IAN, CHRISTOPHER MAYES;MICHAEL SWEENEY
分类号 C25F3/02;G01N21/95;H01L21/3063;H01L21/66;(IPC1-7):H02M5/00 主分类号 C25F3/02
代理机构 代理人
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