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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
AU2003281401(A1)
申请公布日期
2004.01.23
申请号
AU20030281401
申请日期
2003.07.03
申请人
OHMI, TADAHIRO;TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
TADAHIRO OHMI;MASAKI HIRAYAMA;TETSUYA GOTO
分类号
H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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