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La cathode pour pulvérisation sous vide dont le support de cible (2) est constitué par un refroidisseur, est remarquable en ce qu'elle comprend une embase support (3) sur laquelle est superposé un cadre (11) délimitant au moins un espace vide (1a) pour la circulation d'un fluide de refroidissement , ledit cadre (11) recevant en superposition une membrane (4), l'embase (3), l e cadre (11) et la membrane (4) étant assemblés ensemble en périphérie.</SDOAB >
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