发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR CONTEXT-SPECIFIC MASK WRITING
摘要 A method for generating lithography masks includes generating integrated circuit design data and using context information from the integrated circuit design data to write a mask.
申请公布号 WO2004008246(A2) 申请公布日期 2004.01.22
申请号 WO2003US21996 申请日期 2003.07.14
申请人 CADENCE DESIGN SYSTEMS, INC. 发明人 PACK, ROBERT, C.;SHEFFER, LOUIS, K.
分类号 G03F;G03F1/00;G03F1/36;G03F1/78;G03F7/20;G03F9/00;G06F17/50;H01L21/027 主分类号 G03F
代理机构 代理人
主权项
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