| 发明名称 |
Verfahren zur Beobachtung eines Reaktionsprozesses unter Verwendung der Transmissionselektronenmikroskopie |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69820361(D1) |
申请公布日期 |
2004.01.22 |
| 申请号 |
DE19986020361 |
申请日期 |
1998.08.04 |
| 申请人 |
SHARP K.K., OSAKA |
发明人 |
MORI, KAYOKO;YASUO, FUMITOSHI;NAKANO, AKIHIKO |
| 分类号 |
G01N1/28;G01R31/307;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/32;G01R31/305 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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