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经营范围
发明名称
Halbleiter-Dehnungs-Sensor, Verfahren zu dessen Herstellung und Rastersondenmikroskop
摘要
申请公布号
DE69820380(D1)
申请公布日期
2004.01.22
申请号
DE1998620380
申请日期
1998.10.15
申请人
SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA;IBM CORP., ARMONK
发明人
DESPONT, MICHEL;TAKAHASHI, HIROSHI;SHIMIZU, NOBUHIRO;SHIRAKAWABE, YOSHIHARU;ICHIHARA, SUSUMU
分类号
G01L1/18;G01B7/34;G01B21/30;G01L9/00;G01N27/00;G01N37/00;G01P15/08;G01Q20/04;G01Q60/38;G01Q70/10;G01Q70/16;H01L29/82;H01L29/84;(IPC1-7):G01B7/34
主分类号
G01L1/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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