发明名称 Halbleiter-Dehnungs-Sensor, Verfahren zu dessen Herstellung und Rastersondenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69820380(D1) 申请公布日期 2004.01.22
申请号 DE1998620380 申请日期 1998.10.15
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA;IBM CORP., ARMONK 发明人 DESPONT, MICHEL;TAKAHASHI, HIROSHI;SHIMIZU, NOBUHIRO;SHIRAKAWABE, YOSHIHARU;ICHIHARA, SUSUMU
分类号 G01L1/18;G01B7/34;G01B21/30;G01L9/00;G01N27/00;G01N37/00;G01P15/08;G01Q20/04;G01Q60/38;G01Q70/10;G01Q70/16;H01L29/82;H01L29/84;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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