发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IN EINEM FLUID-BEHÄLTER
摘要
申请公布号 DE59810406(D1) 申请公布日期 2004.01.22
申请号 DE19985010406 申请日期 1998.02.14
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 WEBER, MARTIN
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址