| 发明名称 |
Halbleitersubstrathalter mit bewegbarer Platte für das chemisch-mechanische Polierverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60101458(D1) |
申请公布日期 |
2004.01.22 |
| 申请号 |
DE20016001458 |
申请日期 |
2001.05.25 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
HOLLATZ, MARK;LAHNOR, PETER |
| 分类号 |
B24B41/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B41/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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