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发明名称
正型光阻组合物
摘要
本发明提供一种光阻组合物,其包括一用以形成光阻层之聚合物树脂、一用以曝于某种型式之辐射时改变光阻层溶解度之光敏剂,及作为溶剂之乙酸3-甲氧丁酯及4-丁内酯。此组合物具有良好的感光速度及残膜率,及不具有令人不悦的恶臭。
申请公布号
TW573223
申请公布日期
2004.01.21
申请号
TW089111858
申请日期
2000.06.16
申请人
三星电子股份有限公司;东友化学有限公司
发明人
周振豪;李有京;朴弘植;罗允静;金玑洙;姜圣哲
分类号
G03F7/039
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路二○一号七楼
主权项
1.一种正型光阻组合物,其包括:用以形成光阻层之聚合物树脂;用以曝于某种型式之辐射时改变光阻层溶解度之光敏剂;及作为溶剂之乙酸3-甲氧丁酯及4-丁内酯;其中乙酸3-甲氧丁酯:4-丁内酯之比例为60至80重量之乙酸3-甲氧丁酯:2至10重量之4-丁内酯,且该光阻组合物中含有10重量%至25重量%之聚合物树脂,4重量%至10重量%之光敏剂,及65重量%至85重量%之溶剂。2.根据申请专利范围第1项之组合物,其中聚合物树脂为线型酚醛清漆树脂及光敏剂为二叠氮基之化合物。
地址
韩国
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