| 主权项 |
1.一种研磨组合物,包括氧化铝/二氧化矽复合物为 基底的金属氧化物粉末、去离子水及一添加物,该 金属氧化物粉末包括氧化铝/二氧化矽复合物作为 主要的组成份,该添加物系择自氢氧化钾、氢氧化 铵、R4NOH、磷酸、醋酸、盐酸、氢氟酸、过氧化 氢、碘化钾、硝酸、亚铁氰酸钾(K2Fe(CN)6)、重铬 酸钠、次氯酸钾、硝酸铁、氢氧胺、二甲基亚 、草酸、丙二酸、琥珀酸、酸氢钾、2-咯酮 及其混合物所组成的族群中。2.如申请专利范围 第1项所述之研磨组合物,其中该氧化铝/二氧化矽 复合物是由氯化铝和氯化矽藉由其烟燻法而制备 。3.如申请专利范围第1项所述之研磨组合物,其中 该氧化铝/二氧化矽复合物金属氧化物粉末包含67 15%的氧化铝和3315%的二氧化矽。4.如申请专利范 围第1项所述之研磨组合物,其中该氧化铝/二氧化 矽复合物金属氧化物粉末,具有从20到200m2/g的比表 面面积范围。5.如申请专利范围第1项所述之研磨 组合物,其中该氧化铝/二氧化矽复合物在分散状 态中具有10-500奈米之粒径。6.如申请专利范围第1 项所述之研磨组合物,其中该氧化铝/二氧化矽复 合物金属氧化物粉末,是以1-50%重量百分比的量存 在,以组合物的总重量为基准。7.如申请专利范围 第1项所述之研磨组合物,其中该氧化铝/二氧化矽 复合物金属氧化物粉末,包括一单独的氧化铝/二 氧化矽复合物,或是与至少一种择自二氧化矽、氧 化铝、氧化铈、氧化锆及二氧化钛所组成的族群 中而组合。 |
