发明名称 正作用光组成物和可成像元件
摘要 一种正作用组合物其可为热敏性,且涂布于光刻术基材或印刷电路板基材上,以及包含一种水溶性热敏性树脂、一种新颖黏着促进剂以及一种辐射吸收剂亦即染料或颜料。绝佳薄膜形成性聚合物可为唯一黏结剂树脂而其它树脂为选择性,薄膜形成性聚合物包含缩醛单位直接由聚合物聚乙烯醇主链旁出。涂布后材料于曝光于近红外光雷射辐射区域于温和硷性显像剂之溶解度显着变高,如此允许于印刷电路板上或光刻术印刷板上获得抗蚀材料之高度解析图样。组合物可由液体施用于基材上积层成为乾膜。敏化剂可添加至其中而让非热敏组合物变成对辐射敏感。
申请公布号 TW573208 申请公布日期 2004.01.21
申请号 TW089126927 申请日期 2000.12.15
申请人 克瑞欧IL有限公司 发明人 墨许 雷瓦诺;艾曼纽 露瑞;罗瑞沙 波斯戴尔
分类号 G03C1/77;C08F16/06;C08F8/00;C08J3/28 主分类号 G03C1/77
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种正作用抗热蚀元件,包括一金属次层、合金 次层或印刷板包含一基材具有至少一金属表面且 带有一正作用抗热蚀剂黏着于该至少一金属表面, 该正作用抗热蚀层包含一种缩醛聚合物包含通式: 其中R1为-CnH2n+1此处n=1-12;R2为 其中R4=-OH;R5=-OH或-OCH3-或Br-或-O-CH2-C≡CH;以及R6=Br- 或NO2 R3=-(CH2)n-COOH或-C≡CH或 此处R7=COOH,-(CH2)3COOH,-O-(CH2)2-COOH, 以及m=5-40%莫耳比, n=10-60%莫耳比, o=0-20%莫耳比, p=1-10%莫耳比, q=5-50%莫耳比;以及 一种红外光吸收材料其含量系占该正作用抗热蚀 层之0.01至20%重量比。2.如申请专利范围第1项之正 作用抗热蚀元件,其中该正作用抗热蚀层为一种正 作用抗热蚀层包含: 一种缩醛聚合物,包含5-40%(莫耳基准)脂族缩醛基, 以及10-60%(莫耳基准)酚系缩醛基,以及 一种红外光吸收材料,其含量系占正作用抗热蚀层 之0.01至20%重量比。3.如申请专利范围第1或2项之 正作用抗热蚀元件,其中该金属系选自铬、铝及铜 组成的组群。4.如申请专利范围第1或2项之正作用 抗热蚀元件,其中该金属系选自铝及铜组成的组群 ;以及该抗热蚀层含有黏着促进量之带有炔属键结 之化合物。5.如申请专利范围第1或2项之正作用抗 热蚀元件,其中至少一个于该旁出基缩醛树脂之旁 出基具有含炔属键结基于其中。6.如申请专利范 围第1或2项之正作用抗热蚀元件,其中该红外光吸 收材料包括一种红外光吸收颜料。7.如申请专利 范围第1或2项之正作用抗热蚀元件,其中该红外光 吸收材料包括一种红外光吸收染料。8.如申请专 利范围第1或2项之正作用抗热蚀元件,其中该抗热 蚀层不含光敏化合物,其当使用紫外光或可见光辐 射照射时可变更其显像能力。9.如申请专利范围 第1或2项之正作用抗热蚀元件,其中该抗热蚀层具 有平均厚度为1至30微米。10.一种正作用抗热蚀元 件,包含一含铜基材于该基材之至少一表面上黏合 有一具有厚度为1至30微米之正作用抗热蚀层,该层 包含: a)一种缩醛聚合物,包含5-40%(莫耳基准)脂族缩醛基 ,以及10-60%(莫耳基准)酚系缩醛基,以及 b)一种红外光吸收材料,其含量系占正作用抗热蚀 层之0.01至20%重量比。11.一种乾膜可积层抗蚀元件 ,包含一可去除载具,于其离型表面上可去除式附 着有一厚度由约3至50微米之正作用抗热蚀层,以及 该层包含: 一种缩醛聚合物,包含5-40%(莫耳基准)脂族缩醛基, 以及10-60%(莫耳基准)酚系缩醛基,以及 一种红外光吸收材料,其含量系占正作用抗热蚀层 之0.01至20%重量比。12.一种合成如申请专利范围第 1项之聚乙烯基缩醛聚合物之方法,包含a)使用羟基 取代芳族醛及强催化剂酸缩醛化聚乙烯醇,以及控 制使用羟基取代芳族醛进行缩醛化所得达成之缩 醛基水解量,该控制方式系经由于缩醛反应完成前 ,藉蒸馏而由聚乙烯醇及羟基取代芳族醛中去除水 ,俾减少聚乙烯醇及羟基取代芳族醛之水量而达成 ;或b)使用羟基取代芳族醛及强催化剂酸缩醛化聚 乙烯醇,以及控制使用羟基取代芳族醛进行缩醛化 所得达成之缩醛基水解量,该控制方式系经由于缩 醛反应完成前,经由添加可与水反应而产生挥发性 及/或惰性材料。13.如申请专利范围第12项之方法, 其中可与水反应之材料系选自有机碳酸盐类、碳 酸或羧酸之原酸酯类、及含矽化合物组成的组群 。14.一种于印刷板表面上制造一成像图样之直接 方法,该方法包含形成如申请专利范围第1项之正 作用抗热蚀印刷板之各步骤: a)导引具有足够强度通量之聚焦能束至该薄膜之 选定区俾于组合物之溶解度性质执行热感应转变; 以及 b)薄膜接触一种显像剂,该显像剂可由受能束撞击 区中有效去除组合物。15.如申请专利范围第14项 之方法,其中该基材表面包含铜或铝。16.如申请专 利范围第14项之方法,其中该正作用抗蚀组合物进 一步包括黏着促进用量之一种含炔属键结之化合 物。
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