| 主权项 |
1.一种化学放大正型光阻组成物,包含 树脂(X),其本身不溶于硷但在酸作用下将可溶于硷 中,其具有 (a)式(I)所示聚合单位,系源自(甲基)丙烯酸2—烷基 —2—金刚烷酯, (b)式(II)所示聚合单位,系源自(甲基)丙烯酸3—羟 基—1—金刚烷酯, (c)式(III)所示聚合单位,系源自脂环族烯烃, 其中R1及R3系各自独立代表氢或甲基,R2代表具有1 至4个碳原子之烷基,R4代表氢或羟基,且R5及R6系各 自独立代表氢、带有1至3个碳原子的烷基、带有1 至3个碳原子的羟烷基、羧基、氰基或由—COOR7代 表的基团,其中R7代表醇残基,或R5及R6共同形成由 —C(=O)OC(=O)—代表的羧酸酐残基,及 (d)一聚合单位,源自选自顺丁烯二酸酐及分解乌头 酸酐之不饱和二羧酸酐;及 酸产生剂(Y), 其中树脂(X)的含量以树脂(X)与酸产生剂(Y)之总量 计为80至99.9重量%,而酸产生剂(Y)的含量以树脂(X) 与酸产生剂(Y)之总量计为0.1至20重量%,且该树脂(X) 系由共聚合下列单体而制得,这些单体包含藉以得 到式(I)聚合单位之(甲基)丙烯酸2—烷基—2—金刚 烷酯;藉以得到式(II)聚合单位之(甲基)丙烯酸3— 羟基—1—金刚烷酯;藉以得到式(III)聚合单位之脂 环族烯烃;及选自顺丁烯二酸酐及分解乌头酸酐之 不饱和二羧酸酐;其中(甲基)丙烯酸2—烷基—2— 金刚烷酯之用量在5至60%mol,(甲基)丙烯酸3—羟基 —1—金刚烷酯之用量在5至50%mol,且脂环族烯烃与 不饱和二羧酸酐之总用量在10至90%mol,基于共聚合 所用所有单体的总量计。2.如申请专利范围第1项 之化学放大正型光阻组成物,其中在式(I)中的R2为 甲基、乙基、丙基、异丙基及丁基。3.如申请专 利范围第2项之化学放大正型光阻组成物,其中在 式(I)中的R2为乙基。4.如申请专利范围第1项之化 学放大正型光阻组成物,其中式(I)中的R1及式(II)中 的R3中至少一者为氢。5.如申请专利范围第1项之 化学放大正型光阻组成物,其中(甲基)丙烯酸2—烷 基—2—金刚烷酯、脂环族烯烃与不饱和二羧酸酐 之总量以共聚合所用所有单体的总量计为40%mol或 以上。6.如申请专利范围第1项之化学放大正型光 阻组成物,其中藉以得到式(II)聚合单位之(甲基)丙 烯酸3—羟基—1—金刚烷酯之量以共聚合所用所 有单体的总量计为5—40%mol。 |
