面压分布传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种面压分布传感器及其制造方法，因面压分布传感器大量生产时的再现性不佳，一向就有确保感测特性的稳定性、可靠性等需求，同时本方法谋求进一步提高生产率和合格率。本发明是在密封剂内侧设置止流装置，以防止由密封剂的毛细现象导致的对传感器内部的浸入。并且，使对向电极膜片与基板间的间距最优化，提高感测特性。另外，将触头的材料及配置位置、以及对向电极膜片的张力等进行最优化，从而实现特性的稳定化、确保可靠性、提高生产率和合格率。

主权项

1.一种面压分布传感器，其特征在于，具有设在基板上的单位检测元件，与由密封剂固定于所述基板上，且与所述基板相对而设的可挠性导电膜片，其中，所述基板与所述可挠性导电膜片间的间距为15μm以上，40μm以下。