METHOD AND DEVICE FOR GENERATING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION IN PARTICULAR FOR LITHOGRAPHY,申请号EP20020738200-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR GENERATING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION IN PARTICULAR FOR LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号	EP1382230(A1)	申请公布日期	2004.01.21
申请号	EP20020738200	申请日期	2002.04.16
申请人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE	发明人	SCHMIDT, MARTIN;SUBLEMONTIER, OLIVIER;CECCOTTI, TIBERIO;SEGERS, MARC
分类号	H05G1/00;G03F7/20;H01J35/20;H01L21/027;H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00	主分类号	H05G1/00
代理机构		代理人
主权项
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