发明名称 |
In situ purification of compound phosphorus source for solid source molecular beam epitaxy |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1191120(A3) |
申请公布日期 |
2004.01.21 |
申请号 |
EP20010119653 |
申请日期 |
2001.08.21 |
申请人 |
NORTHROP GRUMMAN CORPORATION |
发明人 |
CHIN, PATRICK T. |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/56;C30B23/02;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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