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发明名称 Thermal processing jig for use in manufacturing semiconductor devices and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0924750(A3) 申请公布日期 2004.01.21
申请号 EP19980306594 申请日期 1998.08.18
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 KOBAYASHI, MASANORI
分类号 H01L21/683;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;C30B31/14 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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