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经营范围
发明名称
BAFFLE FOR A CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号
EP1214573(B1)
申请公布日期
2004.01.21
申请号
EP20000961773
申请日期
2000.09.08
申请人
MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人
POULIN, JAMES;HINKLE, LUKE D.;GRUDZIEN, CHRIS P.
分类号
G01L9/12;G01L19/06;(IPC1-7):G01L19/06
主分类号
G01L9/12
代理机构
代理人
主权项
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