发明名称 BAFFLE FOR A CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1214573(B1) 申请公布日期 2004.01.21
申请号 EP20000961773 申请日期 2000.09.08
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 POULIN, JAMES;HINKLE, LUKE D.;GRUDZIEN, CHRIS P.
分类号 G01L9/12;G01L19/06;(IPC1-7):G01L19/06 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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