发明名称 | 一种金刚石镀膜刀具的制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种金刚石镀膜刀具的制造方法,其特征是采用两对弧光放电电极的弧光放电等离子化学气相沉积,电极结构为接触式循环冷却,电源双路输出,对刀具原坯预处理用硝酸+冰乙酸液中浸泡,去离子水冼净,干后,用金刚石微粉加丙酮超声波处理,清洗,利于金刚石的成核。本发明工艺稳定,操作方便,金刚石膜与刀具基体的粘结强度达到5-6kg/mm<SUP>2</SUP>。 | ||
申请公布号 | CN1468973A | 申请公布日期 | 2004.01.21 |
申请号 | CN02138801.6 | 申请日期 | 2002.07.18 |
申请人 | 中国科学院长沙大地构造研究所 | 发明人 | 傅慧芳;刘顺生;颜恩涛;张湘辉;刘保华;姚广平 |
分类号 | C23C16/27;C23C16/50 | 主分类号 | C23C16/27 |
代理机构 | 武汉科宏专利事务所 | 代理人 | 王敏锋 |
主权项 | 1、一种金刚石镀膜刀具的制造方法,其特征在于:A、设计两对弧光放电电极,电极结构为接触式循环冷却;B、电源采用直流稳流电源,双路输出,最高电流50A,电压700V,瞬间高压60kV;C、对含钴的碳化钨硬质合金刀具原坯预处理:用硝酸+冰乙酸1∶1液中浸泡10分钟,去离子水洗净,干后,用W5-W10的金刚石微粉加丙酮超声波处理40-60分钟,之后在干净的丙酮中清洗20分钟,原料气体为CH4+H2+Ar,气体总量为2000-2800ml/min,反应压力70-100Torr,弧光温度4000-5000℃,衬底温度800-1000℃,工作电压180-200V,电流12-13A,镀膜时间30-60min。 | ||
地址 | 410013湖南省长沙市桐梓坡路96号 |