微型透镜及制造方法、微型透镜阵列板、电光装置和电子仪器

摘要

一种微型透镜的制造方法，包括以下工序：在透明基板上形成腐蚀速率比基板高的第1膜的工序，在第1膜上形成在与应形成微型透镜的中心相对应的部位开有孔的掩膜的工序，通过掩膜对第1膜和透明基板进行湿式腐蚀、在透明基板上形成限定上述微型透镜的曲面的非球面凹部的工序。

主权项

1.一种微型透镜的制造方法，其特征是，包括以下工序：在基板上形成相对于规定种类的腐蚀剂的腐蚀速率与上述基板不同的第1膜的工序，在上述第1膜上形成在与应形成微型透镜的中心相对应的部位开有孔的掩膜的工序，通过上述掩膜进行湿式腐蚀，在上述基板上形成限定上述微型透镜的曲面的非球面凹部的工序。