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发明名称
METHOD OF ENHANCED OXIDATION OF MOS TRANSISTOR GATE CORNERS
摘要
申请公布号
EP1382064(A2)
申请公布日期
2004.01.21
申请号
EP20010987463
申请日期
2001.12.27
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
DOKUMACI, OMER;GLUSCHENKOV, OLEG;HEDGE, SURYANARAYAN, G.;KAPLAN, RICHARD;KHARE, MUKESH
分类号
H01L21/3205;H01L29/786;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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