一种容栅位移传感器及其制作方法

摘要

本发明的容栅位移传感器，基片A上的8N条发射电极栅均分别用一引线连到8N个导通盘，基片C上有对应的导通盘串连成8串，导通盘中定点分布有导电料，用粘胶对位粘合基片A与C，使同相位N条发射电极栅互连导通。引线可制作得比发射栅条更细，垂直于测量的位移方向排成一列的8个导通盘，在测量的位移方向的尺寸就可制作得比一发射栅条更宽，制作分辨率0.001mm的容栅传感器，粘合的对位精度仅为0.1mm。本发明首创用市售的ITO导电膜玻璃作基片和用市售的表面镀金的塑料微球作弹性压触的导电料来制作容栅传感器，可沿用液晶显示器的制作工艺技术，尤为适于工业化生产。

主权项

1、一种容栅位移传感器，包括有集成电路(IC)和容栅，容栅由制作有栅状电极並可相对位移的基片组成，可相对位移的栅状电极面面相对保持一微小的间隙，其特征在于：所说的容栅位移传感器由基片A和基片B以及基片C三者所组成，基片A、B、C均为具有导电膜的绝缘材料片；基片A上至少制作有容栅传感器的发射电极栅集合，每条发射电极栅均用引线连接到一个对应的导通盘，基片C上制作有互连通成许多串的导通盘，基片C上的各导通盘与基片A上的导通盘位置一一对应，用粘胶将基片C和基片A对位粘合，再在适当的物理条件下让粘胶固化，同时通过定点分布在基片C与基片A的对应导通盘之间的导电料，使基片A上的导通盘与基片C上的对应导通盘电气相连通，实现同相位的发射电极栅的互連导通；基片B上制作有相应的接收电极栅或感应电极栅；在基片上还制作有发射电极、接收电极和屏蔽地电极的引出脚，用常规的液晶显示器连线工艺将众电极连接到传感器集成电路(IC)的对应引线脚上。