| 发明名称 |
INSPECTION MICROSCOPE FOR SEVERAL WAVELENGTH RANGES AND REFLECTION REDUCING LAYER FOR AN INSPECTION MICROSCOPE FOR SEVERAL WAVELENGTH RANGES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1381901(A1) |
申请公布日期 |
2004.01.21 |
| 申请号 |
EP20020706779 |
申请日期 |
2002.03.22 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH |
发明人 |
EISENKRAEMER, FRANK |
| 分类号 |
G02B1/11;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/16;(IPC1-7):G02B21/16 |
主分类号 |
G02B1/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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